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  • 精密恒溫恒濕機(jī)
    精密恒溫恒濕機(jī)

    精密恒溫恒濕機(jī)在基板曝光前,能有效維持其表面溫度的均一性。經(jīng)過此設(shè)備處理后的空氣,溫度控制精度可達(dá)目標(biāo)值±0.01℃,充分滿足制程環(huán)境對溫控的要求。

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  • 半導(dǎo)體恒溫系統(tǒng)
    半導(dǎo)體恒溫系統(tǒng)

    半導(dǎo)體恒溫系統(tǒng)主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。加熱循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱器、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、循環(huán)管道等組成。冷卻系統(tǒng)包括油水換熱器、油油換熱器(部分設(shè)備)、冷卻水電磁閥、高溫電磁閥等組成??刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術(shù),高清顯示屏,設(shè)有多項(xiàng)保護(hù)功能,確保設(shè)備安全運(yùn)行。通過機(jī)組自身的加熱與冷卻,向外界輸送載熱流體,滿足工藝條件要求。

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