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  • 溫濕度控制系統(tǒng)
    溫濕度控制系統(tǒng)

    溫濕度控制系統(tǒng)在基板曝光前，能有效維持其表面溫度的均一性。經(jīng)過此設(shè)備處理后的空氣，溫度控制精度可達目標值±0.01℃，充分滿足制程環(huán)境對溫控的要求。

    更新時間：2024-11-09型號：瀏覽量：268
  • 溫濕度控制
    溫濕度控制

    溫濕度控制在基板曝光前，能有效維持其表面溫度的均一性。經(jīng)過此設(shè)備處理后的空氣，溫度控制精度可達目標值±0.01℃，充分滿足制程環(huán)境對溫控的要求。

    更新時間：2024-11-09型號：瀏覽量：305
  • 氣體溫濕度
    氣體溫濕度

    氣體溫濕度在基板曝光前，能有效維持其表面溫度的均一性。經(jīng)過此設(shè)備處理后的空氣，溫度控制精度可達目標值±0.01℃，充分滿足制程環(huán)境對溫控的要求。

    更新時間：2024-11-09型號：瀏覽量：209
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