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溫濕度調(diào)節(jié)裝置在基板曝光前，能有效維持其表面溫度的均一性。經(jīng)過(guò)此設(shè)備處理后的空氣，溫度控制精度可達(dá)目標(biāo)值±0.01℃，充分滿足制程環(huán)境對(duì)溫控的要求。

半導(dǎo)體用溫控裝置產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于國(guó)內(nèi)外科學(xué)研究和工藝開(kāi)發(fā)、新能源汽車、生物技術(shù)、醫(yī)藥行業(yè)、航空航天、半導(dǎo)體、醫(yī)療技術(shù)等行業(yè)。

半導(dǎo)體溫控裝置溫度控制裝置 可從高溫300℃直接制冷降溫,低溫可達(dá)-150℃,控溫精度0.5℃智能型控溫,性能穩(wěn)定,應(yīng)用于石化,醫(yī)藥,生化,凍干,軍工等高科技行業(yè)……